Silano (SiH₄)

Silano (SiH₄)

Gas pirofórico, incoloro; se inflama espontáneamente en el aire y se utiliza en la tecnología de semiconductores.

Se puede medir con:

✓ Medible con el air-Q Science bajo pedido.

aire-Qs, con sensor para

Silano (SiH₄)

Origen/ocurrencia:

Producción técnica; procesos CVD, células solares de película fina.

Valores límite:

Existen límites de exposición profesional; el principal peligro es la ignición/explosión espontánea.

Consecuencias:

Riesgo de quemaduras/explosión; la inhalación de los productos de descomposición irrita las vías respiratorias.

Seguridad:

Purga de gas inerte, combustión/lavado de gases de combustión, detección de fugas.

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